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SF6泄漏的紧急处理方法：迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。如有可能，即时使用。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。

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90%变电站GIS，是停不下负荷的，针对这种处理，甚少有经验的单位处理。目前我所了解和掌握的情况是，设备厂家也是没有带电带压封堵的处理经验，只要求停电处理，停不下负荷漏气，是真正问题所在。

电器设备内的SF6气体及分解物与绝缘材料反应而生成某些有毒产物。如与含有硅成分的环氧酚醛玻璃丝布板(棒、管)等绝缘件;或以石英砂、玻璃作填料的环氧树脂浇注件、模压件以及瓷瓶、硅橡胶、硅脂等起化学作用，生成SiF4、Si(CH3)2F2等产物。